[16a-A25-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

10:30 〜 10:45

[16a-A25-6] グレーティングカプラ上への受光器チップの接着実装

〇北 翔太^1,2、高 磊³、前神 有里子³、大野 守史³、コン グアンウェイ³、山本 宗継³、山田 浩治³、新家 昭彦^1,2、角倉 久史^1,2、納富 雅也^1,2 (1.NTTナノフォトニクスセンタ、2.NTT物性研、3.産総研)

キーワード：

受光器、グレーティングカプラ、接着実装

PD集積の簡便な手法の開発のために、シリコンフォトニクスチップ上へのPDチップの接着実装を検討した。標準設計グレーティングカプラ(放射効率~60%)上に市販の4ch面入力PDチップを受光面を上にした状態で接着したところ、少なくとも結合効率20%以上(シミュレーション値~41%)が得られ、4chすべてで同様な波長特性が得られた。