[16a-A25-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

11:15 〜 11:30

[16a-A25-9] 最小構造寸法150 nmの高効率なSiファイバカプラの実証

〇田原 直樹¹、名和 翔太¹、平 陸人¹、陶山 実之¹、廣谷 圭祐¹、前神 有里子²、土澤 泰²、山本 宗継²、山田 浩治²、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工、2.産総研)

キーワード：

シリコンフォトニクス、ファイバカップラ、グレーティングカプラ

Si光導波路と面外の光ファイバを高効率で結合し，最小構造寸法が150 nmであるグレーティングカプラを製作した．レンズ付きファイバモジュールから導波路へ光を入射しグレーティングカプラの上部に垂直に設置した単一モードファイバへの結合効率を測定した結果，最大結合効率は78%であり，シミュレーションとほぼ一致した．