[16a-B1-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:00 〜 9:15

[16a-B1-1] ミニマルファブの真空ローディング、真空搬送システム

〇原 史朗^1,2,3、野田 周一¹、前川 仁¹ (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.ハンドレッド)

キーワード：

ミニマルファブ、多品種少量、真空搬送

ミニマルファブは、超小型半導体製造システムである。局所クリーン化ウェハ搬送技術を開発したので、ミニマルファブでは、世界で初めて、原理的にガス遮断や真空雰囲気でウェハを搬送することができるようになる。既にウェハ搬送容器やウェハロードポートは真空対応になっている。本発表では、この先進的なシステムについて詳細を発表する。