2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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9:15 〜 9:30

[16a-C31-2]複合成膜により成膜された低屈折率SiO2光学薄膜の多層化(3)

〇(D)田島 直弥1、室谷 裕志1、松平 学幸2 (1.東海大院工、2.(株)シンクロン)

キーワード：

光学多層膜、SiO2、充填密度

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