[16a-C31-1~10] 6.4 薄膜新材料

11:00 〜 11:15

[16a-C31-9] VO₂/TiO₂(001)における格子歪の形成要因

〇村岡 祐治¹、中本 歴²、岡﨑 宏之³、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹ (1.岡山大基礎研、2.岡山大院自然科学、3.量研)

キーワード：

VO2/TiO2(001)、格子歪、レーザーエネルギー密度

パルスレーザー堆積法（PLD法）を用いたVO2/TiO2(001)の作製実験により、酸化膜の格子歪み形成の要因として、膜成長時の表面粒子の熱エネルギーが重要であることを明らかにした。本発表では、膜形成時のレーザーエネルギー密度が膜の格子歪み形成に与える影響について調べた結果を紹介する。