[16p-A21-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

13:15 〜 13:30奨励賞エントリー

[16p-A21-2] GaN 面発光レーザの共振波長および発光ピーク波長の面内分布

〇柴原 直暉¹、柳川 光樹¹、西川 大智¹、荒川 将輝¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、岩谷 素顕¹ (1.名城大　理工)

キーワード：

面発光レーザ、発光ピーク波長、面内分布

GaN 面発光レーザ（VCSEL）の電力変換効率として 20％以上 [1]が報告されており、高性能 な VCSEL 実現には、DBR 中心波長、共振波長、活性層の発光ピーク波長の高精度制御が必要 である。我々はその場反射率スペクトル測定により、DBR 中心波長と共振波長の高精度波長 制御を報告した [2,3] 。残された発光ピーク波長制御に関して、共振器内に配置された活性層で は、共振器の影響を受けて、発光ピーク波長の同定が容易ではない。本研究では、高精度な 波長制御実現に向けて、VCSEL 作製途中の上部 DBR が無い構造を用いて、発光ピーク波長の 測定を試み、VCSEL ウエハでの上記三つの波長面内分布を評価した。