[16p-A21-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

13:45 〜 14:00

[16p-A21-4] 高反射DBR装荷メンブレン型InGaN系レーザ構造の提案と試作

〇佐藤 秀哉¹、髙橋 勇貴¹、菊池 昭彦^1,2 (1.上智大理工、2.上智大半導体研)

キーワード：

窒化ガリウム、分布ブラッグ反射鏡、メンブレン型

超低閾値動作が期待できる高反射DBR装荷メンブレン型InGaN系レーザデバイスの構造提案とその試作を報告する。空気/p-GaN/活性層/n-GaN/AlInN(300nm)/GaN構造を用い、共振器の両端にはHEATE法によるGaNエッチングにより高反射率が期待される空気/GaN DBRを形成する。光閉じ込め係数ξを向上させるため、n-GaN下部のAlInN層を硝酸エッチングにより共振器を支持するように一部を残して選択除去し、提案するレーザ構造の試作に成功した。