[16p-A21-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

14:15 〜 14:30

[16p-A21-5] a面AlNテンプレート上へのHVPE法によるホモエピタキシャル成長

〇伊藤 駿希¹、赤池 良太^1,2、安永 弘樹^2,3、中村 孝夫^1,2,3、三宅 秀人^1,2 (1.三重大院工、2.半導体・デジタル未来創造センター、3.研究基盤推進機構)

キーワード：

AlN、HVPE、非極性