[16p-A21-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

15:15 〜 15:30奨励賞エントリー

[16p-A21-9] 加圧加熱水によるサファイア基板の剥離技術を用いたThin Film LED の作製

〇狩野 祥吾¹、井本 圭紀¹、山田 凌矢¹、齋藤 巧夢¹、三宅 倫太郎¹、佐々木 祐輔¹、丸山 竣大¹、岩山 章¹、三宅 秀人²、竹内 哲也¹、上山 智¹、岩谷 素顕¹ (1.名城大・理工、2.三重大・院工)

キーワード：

半導体

UV-B 領域のLED は、農業、紫外線硬化、医療などへの応用が期待されている。従来の水
銀ベースのUV ランプに比べて、環境に優しく、AlGaN 系のUV-LED の実用化に向けて光
取り出し効率の向上が課題とされている。本報告では、フリップチップ構造を採用し、加熱
加圧水によるサファイア基板の剥離を行いThin Film LED を作製した。その結果について報
告する。