[16p-A22-1~22] CS.13 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.4 III-V族窒化物結晶のコードシェア

15:30 〜 15:45

[16p-A22-10] OVPE法を用いたMgイオン注入GaNの大気圧活性化手法の提案

〇宇佐美 茂佳¹、伊藤 佑太²、香川 美幸¹、横井 創吾¹、田中 敦之³、滝野 淳一⁴、隅 智亮⁴、今西 正幸¹、伊藤 瞭太⁵、秦 雅彦⁶、吉村 政志⁷、岡山 芳央⁴、本田 善央³、天野 浩³、森 勇介¹ (1.阪大院工、2.名大院工、3.名大未来研、4.パナソニックホールディングス（株）、5.住友化学（株）、6.伊藤忠プラスチックス（株）、7.阪大レーザー研)

キーワード：

OVPE法、GaN、Mgイオン注入