2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

16:45 〜 17:00

[16p-A22-15]Al-rich AlGaNマルチチャネルFin構造の作製と評価

〇小坂 鷹生1、上野 耕平1、藤岡 洋1 (1.東大生研)

キーワード：

窒化アルミニウム、スパッタリング、FinFET

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る