2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

13:15 〜 13:30

[16p-A22-2]N 極性GaNに及ぼすドライエッチングの台座の影響

〇三島 秀治郎1、中村 大輝1、新海 聡子1 (1.九工大院)

キーワード：

窒化ガリウム、ドライエッチング、N極性面

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る