2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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13:15 〜 13:30

[16p-A22-2]N 極性GaNに及ぼすドライエッチングの台座の影響

〇三島 秀治郎1、中村 大輝1、新海 聡子1 (1.九工大院)
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キーワード：

窒化ガリウム、ドライエッチング、N極性面

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