[16p-A22-1~22] CS.13 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価、15.4 III-V族窒化物結晶のコードシェア

18:45 〜 19:00

[16p-A22-22] エピタキシャルScAlN/AlGaN/GaNヘテロ構造の作製

〇奥田 朋也¹、太田 隼輔²、河原 孝彦³、牧山 剛三³、中田 健³、前田 拓也⁴、小林 篤^1,2 (1.理科大院先進工、2.理科大先進工、3.住友電工、4.東大院工)

キーワード：

ScAlN