[16p-A36-1~8] Society 5.0を支えるサイバーフィジカルシステムの先端技術 - フィジカル空間を繋ぐ材料・デバイス・プロセス・回路・アプリケーション技術 -

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[16p-A36-3] 拡張伝送線モデル(TLM)法を用いた熱電半導体/金属界面の固有接触抵抗率の精密測定と界面の信頼性評価

〇(M1)桂 章皓¹、鶴元 真妃¹、廣瀬 由紀子¹、Micucci Daniele²、佐藤 峻^3,4、岩瀬 英治⁴、菅原 徹^1,4 (1.京工繊大工、2.トリノ工科大、3.産総研、4.早稲田大)

キーワード：

半導体/金属界面、接触抵抗、伝送長法