講演情報
[16p-A36-3]拡張伝送線モデル(TLM)法を用いた熱電半導体/金属界面の固有接触抵抗率の精密測定と界面の信頼性評価
〇(M1)桂 章皓1、鶴元 真妃1、廣瀬 由紀子1、Micucci Daniele2、佐藤 峻3,4、岩瀬 英治4、菅原 徹1,4 (1.京工繊大工、2.トリノ工科大、3.産総研、4.早稲田大)
キーワード：
半導体/金属界面、接触抵抗、伝送長法
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