講演情報
[16p-B1-14]半導体製造装置におけるクラスター分析を用いた異常検知の評価
〇志賀 優規1、平井 都志也1,2、加納 学2 (1.KOKUSAI ELECTRIC、2.京都大学)
キーワード：
半導体製造装置、異常検知、クラスター分析
近年，半導体の高品質化が進んでおり，半導体製造装置の評価の高度化が求められている．これまで，クラスター分析を用い，最適クラスター数を指標とする異常検知モデルを構築し報告してきた．本報告ではその続報として最適クラスター数が，異常装置の原因である振動を含む信号の特徴を検出する能力を評価した．結果として最適クラスター数による検知能力が明らかとなったので報告する．
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