講演情報

[16p-B1-3]ガラス基板上の4端子縦型poly-Si薄膜トランジスタのpHセンサ応用

〇鈴木 康聖1、田部井 哲夫2、原 明人1 (1.東北学院大院、2.広島大RISE)

キーワード:

薄膜トランジスタ、多結晶シリコン、縦型TFT


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