[16p-B1-1~14] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

13:45 〜 14:00

[16p-B1-4] 青色ダイレクトダイオードレーザを用いたCVD製膜a-Si膜の結晶化

〇岡田 竜弥¹、野口 隆¹、菱田 光起²、宮野 謙太郎²、小畑 直彦²、信岡 政樹² (1.琉大工、2.パナソニックコネクト)

キーワード：

青色ダイレクトダイオードレーザ