[16p-C302-1~18] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

16:15 〜 16:30

[16p-C302-11] サブTHz超音波を用いたエレクトロマイグレーションの早期非破壊検出

〇長久保 白¹、出馬 秀平¹、西村 淳²、壁 義郎²、荻 博次¹ (1.阪大工、2.スカイワークスフィルターソリューションズ)

キーワード：

エレクトロマイグレーション、その場観察、超音波

高密度電流が原子を拡散させるエレクトロマイグレーション（EM）が古くから問題となっており、デバイスの信頼性評価のためEMによるボイドの発生を検出することは重要である。そこで本研究では周波数サブTHz・波長nmオーダの超音波を用いた非破壊・その場モニタリング手法を提案する。ナノ細線に高密度電流を印加すると電気抵抗の変化が表れていない時点から、超音波エコーによって初期ボイドの検出に成功した。