講演情報

[16p-C302-8]DFT計算による電子輸送特性データベースを用いた配線材料としての新たな金属間化合物の探索

〇岩渕 将也1、小池 淳一1 (1.東北大)

キーワード:

半導体配線、金属間化合物、抵抗率


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