[16p-C31-1~18] 6.4 薄膜新材料

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[16p-C31-2] 交互ターゲットPLD法により作製したZrN_xH_y薄膜の仕事関数評価

〇(M2)宮崎 大地¹、吉松 公平¹、相馬 拓人¹、組頭 広志^2,3、大友 明¹ (1.東工大物質理工、2.高エネ研、3.東北大多元研)

キーワード：

水窒化物、薄膜、仕事関数

ZrN(4.6 eV)とZrH₂(3.8 eV)の間での大幅な仕事関数変調が期待されるZrN_xH_y薄膜をターゲット交互パルスレーザ堆積法によって作製し，表面分析手法による仕事関数評価を行った．放射光光電子分光からは，水素組成が大きいほど薄膜表面で水素が選択的に酸素に置換されていることが示唆された．講演では，仕事関数をケルビンプローブ顕微鏡と紫外光電子分光により調べた結果を報告する．