[16p-C32-1~12] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

16:00 〜 16:15

[16p-C32-10] 顕微干渉計による相変化パターンの段差測定

〇菅原 健太郎¹、後藤 民浩² (1.産総研、2.群馬大理工)

キーワード：

相変化

顕微干渉計による段差の精密測定について研究を行ってきたが、段差上面と下面が異なる材料からなると、その光学特性の違いが見かけの段差として現れるが、これは相状態（結晶と非晶質）の違いも見えていることが予想される。そこで今回、Ge-Sb-Te系カルコゲナイド相変化材料について、相変化マークの評価を行ったところ、見かけの段差（光反射の位相変化）が～5 nm程度であることを示す結果が得られたので報告する。