[16p-P02-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[16p-P02-5] プラズマスパッタリングLiLaZrO薄膜の結晶性制御

〇丹羽 亮斗¹、村瀬 瑠汰¹、石原 雅之¹、大前 知輝¹、中田 智久¹、横井 玲音¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

Liイオン電池、スパッタリング