2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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講演情報

9:15 〜 9:30

[17a-B1-2]圧電薄膜共振子の開発

〇天本 百合奈1、照元 幸次1、下地 規之1、内貴 崇1、合田 賢司1、木村 俊1、奥 良彰1 (1.ローム(株))

キーワード：

共振子、MEMS

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