[17a-B1-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:15 〜 9:30

[17a-B1-2] 圧電薄膜共振子の開発

〇天本 百合奈¹、照元 幸次¹、下地 規之¹、内貴 崇¹、合田 賢司¹、木村 俊¹、奥 良彰¹ (1.ローム(株))

キーワード：

共振子、MEMS