2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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講演情報

10:45 〜 11:00

[17a-B1-7]立体構造トランジスタ製造に対応したCMPプロセス制御技術の開発

〇笠嶋 悠司1、松川 貴1、上嶋 和也1、山岸 雅司1、林 喜宏1 (1.産総研先端半導体RC)

キーワード：

CMP、OCD、エンドポイント検出

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