[17a-B2-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

9:30 〜 9:45

[17a-B2-3] CZ-Ga₂O₃単結晶成長時における結晶と融液の透明度と結晶ねじれの関係

〇柿本 浩一¹、富田 健稔²、Vladimir Kochurikhin²、鎌田 圭¹、中野 智³、吉川 彰⁴ (1.東北大　NICHe、2.㈱C & A、3.九大　応力研、4.東北大　金研)

キーワード：

半導体、酸化物、シミュレーション

Ga₂O₃酸化物単結晶は、パワーデバイス用結晶の候補の一つとして注目を浴びている。また、Ga₂O₃に限らずチョクラルスキー法を用いた酸化物単結晶育成中に、結晶のねじれが問題となっている。本報告では、チョクラルスキー法を用いたGa₂O₃単結晶成長中の結晶育成炉内の３次元温度、流動解析を行った。特に、結晶と融液中の内部輻射が温度分布に与える効果について解析を行った。