[17a-C32-1~9] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

9:30 〜 9:45

[17a-C32-3] 可視光フェーズドアレイに向けたNb₂O₅導波路の作製

〇新保 祐人¹、矢島 駿¹、端山 喜紀²、中津原 克己²、庄司 雄哉¹ (1.東工大工、2.神奈川工大工)

キーワード：

磁気光学効果、光導波路、光デバイス

拡張現実（AR）は教育、ショッピング、製造など幅広い領域で活用できる技術として近年注目を集めている。光ビームの形成と走査に関する技術として、光フェーズドアレイ(OPA)があるが、LiDAR応用に向けて半導体光集積回路を用いたものが主流であり、動作波長は近赤外領域になる。本研究では、ARでの応用も見据え磁気光学効果による高速な位相シフターを利用した集積型OPAの実現を目的としている。