[17a-P01-1~66] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[17a-P01-15] ギャップ電極を用いたアモルファスカーボン膜への電圧印加と抵抗変化

〇野村 陸太¹、上野 和良¹ (1.芝浦工大院)

キーワード：

ナノカーボン、抵抗変化、電圧印加

本研究では、アモルファスカーボン(a-C)膜に電流を横方向に流すギャップ電極構造の素子を作製し、電圧印加による抵抗変化を調査した。SiO₂/Si基板上に成膜したa-Cに対して、ギャップ幅15nmから82nmのAu電極を傾斜蒸着法で形成し、最大40Vまで電圧を繰り返し印加してI-V特性を測定した。結果として、繰り返し電圧印加することにより、ギャップ電極間の抵抗変化が観察された。