[17a-P01-1~66] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[17a-P01-24] ポリマーアシストSiC熱分解グラフェン成長におけるステップのワンダリング過程

〇(M1)仁科 匠人¹、乗松 航¹ (1.早大理工)

キーワード：

グラフェン、ステップワンダリング、PASG

ポリマーアシスト熱分解成長（PASG）法は、ステップバンチングを抑制しつつ、SiC基板上にグラフェンを作製する手法である。PASG法を用いてグラフェンを作製した場合、SiC基板にステップワンダリングが生じる。本研究では、ステップワンダリング抑制の手がかりとして、PASG法を用いたグラフェン成長に伴うステップワンダリング過程を観察した結果を報告する。