講演情報

[17a-P01-42]熱CVDによる多層グラフェン膜へのドーピング濃度向上

〇東野 太政1、上野 和良1 (1.芝浦工大院)

キーワード:

多層グラフェン、インターカレーション、ドーピング

本研究では多層グラフェン (MLG : multi-layer graphene) へのインターカレーションドーピング時の密閉性改善と薬品量増加により、ドーピング濃度向上を図った。密閉性改善により改善前より、Gピークのシフト量が大きくなった。また、薬品量の増加に従い、Gピークの高周波数へのシフトが増加した。

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