[17a-P01-1~66] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[17a-P01-48] 断面 TEM 像の高速フーリエ変換による原子層状膜の結晶性評価

〇松永 尚樹¹、白倉 孝典²、若林 整² (1.東工大、2.科学技術創成研究院)

キーワード：

遷移金属ダイカルコゲナイド、断面TEM、高速フーリエ変換

遷移金属ダイカルコゲナイド（TMDC）膜はシリコンに代わる次世代チャネルとして期待されており、結晶性評価にはRamanピークの半値幅（FWHM）が使われる。しかし、複数層システムでは多重反射の影響で評価が難しくなる。本研究では、下地に依らない評価方法として断面TEM像のFFTを提案した。これにより、異なる下地のTMDC膜の定性的評価が可能となった。