[17p-B2-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

13:00 〜 13:15

[17p-B2-1] 高濃度B添加<110>方位CZ-Si単結晶の転位挙動の観察

〇松村 尚^1,2、成松 真吾¹、斉藤 広幸¹、福井 勇希²、太子 敏則² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.信大工)

キーワード：

シリコン、転位