[17p-B2-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

13:30 〜 13:45

[17p-B2-3] CZ-Si単結晶育成における種子づけ界面直下の形状と応力分布解析

〇(M1C)塚田 大喜¹、藤 倫太郎¹、干川 岳志¹、斎藤 広幸²、松村 尚^1,2、太子 敏則¹ (1.信大工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：

シリコン、転位、数値解析