講演情報
[17p-B2-6]Si ウェーハの表面熱酸化膜中のCristobalite 相
〇神山 栄治1,2、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大)
キーワード：
シリコン、酸化、クリストバライド
Si(001)面に形成した熱酸化膜に対し，2010 年頃に提案されたPseudo-Cristobalite モデルについて，第一原理計算によりその安定性を調査し，この構造の出現可能性について考察したので、その結果について報告する．
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