[17p-B2-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

14:45 〜 15:00

[17p-B2-7] シリコン結晶基板の品質と点欠陥 第二世代 (12) 同位体と真正点欠陥の不均一

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪公大 放射線研究センター)

キーワード：

シリコン結晶、同位体、偏析

2019年に同位体純化シリコン真球がキログラム原器を置き換えた。格子定数の純結晶からの外れの最大の原因は炭素不純物であり、我々は格子定数分布測定結果を解析して、実効的に無炭素の領域の格子定数を推定した。次に問題となるのは、同位体と真正点欠陥の不均一と考えられる。同位体の偏析係数を見積もり1に非常に近いことを明らかにした。真正点欠陥については平衡濃度の温度依存性から3％以内と見積もった。