[17p-B3-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

17:00 〜 17:15

[17p-B3-16] 実用的強誘電体記録を目指したPZT大面積記録媒体の開発

〇長 康雄¹、平永 良臣² (1.東北大未来科学、2.東北大通研)

キーワード：

次世代超高密度強誘電体記録、走査型非線形誘電率顕微鏡、実用的記録媒体

著者らは走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）を用いた次世代超高密度強誘電体記録(Fe-HDD)の研究開発を行っている．実用的な記録媒体に要求される仕様は，①大面積，②安価，③高品質でかつ④大量生産可能というように要約される．そこで本研究ではFe-HDD用として十分な大きさの8インチSi単結晶基板上にスパッタ法で単結晶ライクな正方晶PZT薄膜を成長させその分極反転特性を調べた．