[17p-B3-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

13:30 〜 13:45

[17p-B3-3] BiFe_1-xMn_xO₃エピタキシャル膜の結晶構造と電気的特性

〇(B)藤原 輝羅¹、Aphayvong Sengsavang¹、高城 明佳¹、高木 昂平¹、藤林 世覇音¹、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪公大工)

キーワード：

強誘電体薄膜、エピタキシャル膜、BiFeO3

近年、IoT 社会の実現に向けてエナジーハーベスティング技術が注目されており、簡易な構造で高い変換効率が期待できる圧電振動発電に関する研究が活発に行われている。我々は大きい自発分極と低い誘電率を有し、高い振動発電性能指数を示す BiFeO₃に着目している。本研究では、リーク電流の低減や強誘電特性の向上が報告されている BiFe_1-xMn_xO₃(BFMO)のエピタキシャル薄膜を Si 基板上に作製し、その結晶構造や電気的特性を調べた。