[17p-B3-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

14:45 〜 15:00奨励賞エントリー

[17p-B3-8] 分極処理による強誘電体薄膜の焦電と電気熱量効果への効果

〇宇佐美 潤¹、岡本 有貴¹、井上 悠¹、小林 健¹、山田 浩之¹ (1.産総研)

キーワード：

強誘電、焦電効果、電気熱量効果

強誘電体薄膜はメモリやアクチュエータだけでなく、焦電効果や電気熱量効果を利用した、赤外線センサ、エナジーハーベスト、冷却などへも応用が期待される。圧電効果を向上させるために分極処理が行われるが、分極処理による焦電や電気熱量効果への影響については研究例が少ない。本研究では、強誘電体薄膜試料に分極処理を施した場合の焦電、電気熱量効果に与える影響について調査した。