[17p-C302-1~9] グリーン・サスティナブル半導体製造に貢献する材料

14:40 〜 15:10

[17p-C302-4] シリカを原料とするケイ素化学基幹原料の直接合成

〇深谷 訓久¹ (1.産総研)

キーワード：

テトラアルコキシシラン、シリカ

ケイ素化学産業の基幹原料であるテトラアルコキシシランを、安価で豊富に存在する砂、植物燃焼灰、産業副産物などをケイ素源としてアルコールと反応させて、一段階で高効率に直接合成できる技術について発表する。