[17p-C302-1~9] グリーン・サスティナブル半導体製造に貢献する材料

15:10 〜 15:40

[17p-C302-5] 自己治癒セラミックスの基礎と応用 ー半導体製造での応用を目指してー

〇南口 誠¹ (1.長岡技大)

キーワード：

自己治癒セラミックス、クラック、拡散

自己治癒セラミックスは，炭化物や金属などの非酸化物粒子をセラミックスに分散した際，熱酸化により表面の亀裂が酸化生成物によって充填されることで強度回復が起きる機能を有している．この材料をドライエッチング装置などの構造部品として用いることができれば，構造部材として長期の寿命が期待できる．本発表では，自己治癒セラミックスの基礎と応用に解説するとともに半導体製造分野への適用に対する展望について報告する．