[17p-C41-1~11] 次世代半導体・新デバイス製造に向けたプラズマ直接接合技術

18:00 〜 19:00

[17p-C41-11] パネルディスカッション

〇谷出 敦^1,2、田中 宏昌²、石川 健治²、高橋 健司³、須賀 唯知⁴、高桑 聖仁⁴、秦 誠一⁵、竹中 弘祐⁶、梁 剣波⁷、日暮 栄治⁸ (1.SCREEN HD、2.名大低温プラズマ、3.産総研、4.東大院工、5.名大院工、6.阪大院工、7.大阪公立大院工、8.東北大院工)

キーワード：

プラズマ、接合、半導体