[17p-D62-1~9] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

13:45 〜 14:00奨励賞エントリー

[17p-D62-2] 主鎖切断型レジストのEUV照射による現像特性評価

〇(M1)志賀 竜太¹、山川 進二¹、原田 哲男¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：

EUV、フォトレジスト、感度曲線

レジスト材料のEUV露光・現像に関与する化学現象は未だに解明されていない点があり、要求仕様の達成は困難なままである。種々のレジスト材料についてEUV感度曲線を系統的に評価し、EUVレジストの基礎的な溶解挙動を明らかにする必要がある。本研究では、NewSUBARU放射光施設のビームラインBL03にて主鎖切断型レジストのEUV感度測定を実施し、その感度特性に対する初期膜厚および分子量の影響について検討した。