2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)7 ビーム応用：7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[17p-D62-1~9]7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2024年9月17日(火) 13:30 〜 16:00

D62 (万代島ビル)

山本治朗(日立)、海野徳幸(東理大)

13:30 〜 13:45

[17p-D62-1]水素雰囲気中における高強度EUV照射によるEUVマスク吸収体の評価

〇石田隼登¹、原田哲男¹、山川進二¹ (1.兵庫県立大高度研)

13:45 〜 14:00奨励賞エントリー

[17p-D62-2]主鎖切断型レジストのEUV照射による現像特性評価

〇(M1)志賀竜太¹、山川進二¹、原田哲男¹ (1.兵庫県立大工)

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[17p-D62-3]EUVレジストにおける反射型軟X線共鳴散乱を用いた凝集構造と感度特性の関係性の検討

〇江渕友梨¹、志賀竜太¹、山川進二¹、原田哲男¹ (1.兵庫県立大学)

14:15 〜 14:30

[17p-D62-4]軟X線照射によるPDMS架橋体生成とX線エネルギー依存性

〇中川清子¹、大原麻希²、横谷明徳²、宇佐美徳子³ (1.都産技研、2.量研機構、3.高エネ研)

14:30 〜 14:45

[17p-D62-5]EUVリソグラフィ用有機無機ハイブリッドレジストのリソグラフィ特性における基礎研究

〇山本洋揮¹、伊藤(筒井) 裕子²、岡本一将²、古澤孝弘² (1.量研高崎、2.阪大産研)

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[17p-D62-6]知的財産情報からの先端フォトレジストの技術遷移特性

〇綿引康介¹、御堂義博²、岡本和也^1,2,3 (1.山口大院、2.大阪大院、3.日本工大院)

15:15 〜 15:30

[17p-D62-7]電子ビーム露光による傾斜モールドの作製と転写

〇(M1)柴崎尚也¹、海野徳幸¹、谷口淳¹ (1.東理大先進工電子)

15:30 〜 15:45奨励賞エントリー

[17p-D62-8]ハイブリットソフトレプリカモールドを用いた残膜レス銀微細配線

〇中村有理¹、谷口淳¹ (1.東理大先進工)

15:45 〜 16:00

[17p-D62-9]形状補正平面レチクルを用いた回転放物面鏡立体面リソグラフィの検討

〇堀内敏行¹、岩崎順也¹、小林宏史¹ (1.東京電機大工)

カテゴリ一覧へ戻る