[17p-D62-1~9] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[17p-D62-3] EUVレジストにおける反射型軟X線共鳴散乱を用いた凝集構造と感度特性の関係性の検討

〇江渕 友梨¹、志賀 竜太¹、山川 進二¹、原田 哲男¹ (1.兵庫県立大学)

キーワード：

EUVリソグラフィー、レジスト、X線散乱