[17p-D62-1~9] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

14:15 〜 14:30

[17p-D62-4] 軟X線照射によるPDMS架橋体生成とX線エネルギー依存性

〇中川 清子¹、大原 麻希²、横谷 明徳²、宇佐美 徳子³ (1.都産技研、2.量研機構、3.高エネ研)

キーワード：

高分子架橋、軟X線、X線エネルギー

2.5～5 keVのX線照射によるポリジメチルシロキサン(PDMS)架橋体生成の線量およびX線エネルギー依存性を調べた。低線量域では、線量に比例して架橋体が生成し、高線量照射でサチレーションした。また、X線のエネルギーが低いほど、低い線量でサチレーションが起こった。低エネルギーの光電子が生成し、高エネルギー付与になるためと推測される。