講演情報
[17p-D62-7]電子ビーム露光による傾斜モールドの作製と転写
〇(M1)柴崎 尚也1、海野 徳幸1、谷口 淳1 (1.東理大先進工電子)
キーワード：
フォトリソグラフィ、電子ビーム露光
ARとVRといったヘッドマウントディスプレイは3D表示による次世代インタラクティブディスプレイである．そのデバイスには表面レリーフ型回折格子が用いられている．その作製方法はフォトリソグラフィをした後に反応性イオンエッチングをする必要がある．そこで1回の工程で得られるよう試料を傾けて電子ビーム露光によるパターニングをし，それをモールドとして用いてUVナノインプリントリソグラフィで転写した．
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