[17p-D62-1~9] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

15:45 〜 16:00

[17p-D62-9] 形状補正平面レチクルを用いた回転放物面鏡立体面リソグラフィの検討

〇堀内 敏行¹、岩崎 順也¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大工)

キーワード：

立体面投影露光、放物面鏡、平面レチクル

回転放物面鏡を対向配置した光学系により、緩い任意曲面上へ数10～数100µm線幅の大パターンを転写する方法として、光学系起因に加えて被露光曲面起因の歪補正を考慮した平面レチクルを用いる方法を検討した。上ミラー開口に正方格子像を形成できるレチクルの試料スプーン凹面への投影像計算が実測歪形状と合致した。そこで投影像が正方格子となるように曲面による歪補正をレチクルに加え、目標通りに転写できることを実証した。