[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

15:30 〜 15:45

[17p-D63-10] フィールド・エミッタ・アレイにおけるチップの軸ズレが電子ビームに与える影響

〇村田 英一¹、川﨑 祐輔¹、鈴木 悠斗¹、田中 崇之¹、六田 英治¹ (1.名城大理工)

キーワード：

フィールド・エミッタ・アレイ、軸ズレ、境界電荷法

フィールド・エミッタ・アレイ（FEA）は、フィールド・エミッタを多数集積したもので、次世代の電子源として期待されている。しかし、その利用には問題点も多く、もっとも大きな問題は、個々のエミッタの放出電流値の不均一性である。その原因の１つとしてエミッタの回転対称性からのズレが考えられる。本研究では、一般３次元の境界電荷法を用いて、FEAの回転対称からのズレの影響について電子軌道解析を行ったので報告する。