[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[17p-D63-11] TiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイのその場観察および放出電流の評価

〇川崎 祐輔¹、村田 英一¹、村田 博雅²、長尾 昌善² (1.名城大理工、2.産総研)

キーワード：

フィールドエミッタアレイ、マルチエミッタ評価装置、TiNコーティング

反応性スパッタを用いてSi エミッタにTiN コーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイ（以下FEA）は、次世代の大電流真空デバイスとして期待されている。今回は、エージング（long time DC drive）により、そのTiN コーティングされたFEA の各tip の放出電流の均一性がどのように変化するかについて、観察および計測を行ったので報告する。