2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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16:00 〜 16:15

[17p-D63-12]Siエミッタ上へのTiNスパッタリング成膜条件の調査

〇村田 博雅1、村上 勝久1、長尾 昌善1 (1.産総研)
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キーワード：

フィールドエミッタアレイ、窒化チタン

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