[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

13:15 〜 13:30

[17p-D63-2] 円形絞りを用いた電子ビーム空間干渉性の定量計測

〇山崎 順^1,2、畑中 修平¹ (1.阪大電顕セ、2.名大未来研)

キーワード：

空間干渉性、電子ビーム

我々はこれまでに、透過電子顕微鏡内での制限視野絞りによるAiry回折図形を解析することによって、電界放出型電子銃からのビームの空間干渉性を定量的に計測する手法を開発した。本研究では熱電子銃からのビームの計測に応用するための手法拡張を行った。